Information of Seminar on MAY 08

Speaker

김태훈, 삼성전자 생산기술연구소 설비SW그룹


Title

The Role of Software in the Semiconductor Industry


Abstract

반도체 공정은 수 백개의 프로세스로 이루어지는 복잡하고 정교한 공정으로 반도체 제품이 최종 완성되기까지 제품(Wafer)의 불량 발생을 최소화하고 생산성을 극대화시키는 활동이 매우 중요하다. 이를 위하여 반도체 Fab에서는 공정 이상을 탐지하고 근본 원인을 찾기 위해 다양한 분석 활동을 수행하는데, 본 세미나에서는 반도체 공정에서의 분석 활동을 분류하고,
1) Process and Equipment Control
2) Yield Modeling and Prediction
3) Equipment Matching
4) PM (Preventive Maintenance)
5) VM (Virtual Metrology)
각 분석 활동에서 활용되는 통계적, 알고리즘적 분석 기술의 개요를 소개한다.
또한, 향후 빅데이터 환경에서 반도체 공정을 분석 하기 위한 방법론과 이를 위해 필요한 통계학 및 알고리즘적 역량을 제시하고 향후 가능한 협력 포인트에 대해 토의해보도록 한다.


Bio

1992년 서울대 계산통계학과 학사
1994년 서울대 계산통계학과 석사
2000년 서울대 전산과학과 박사
2000년~03년 Pumpkin Networks 근무 (Sunnyvale, CA, US)
2003년 삼성전자 생산기술연구소 입사
2015년 삼성전자 생산기술연구소 상무